XY軸測(cè)量精度(μm): 2+L/200

Z軸測(cè)量精度(mm): 5+L/200

重復(fù)精度（mm）:0.002

運(yùn)動(dòng)速度(mm/s): XY軸=0~400    Z軸=0~100

光柵尺: 0.5μm分辯率“RENISHAW”金屬光柵尺

圖像傳感器CCD: SBK-HC600   1/2英寸700線(xiàn)工業(yè)彩色相機(jī)

視頻采集卡：“大恒”高解晰度彩色雙路視頻卡

導(dǎo)軌: 日本“THK”SP級(jí)精密線(xiàn)性導(dǎo)軌

絲桿：日本“THK”研磨滾珠絲桿

放大倍率: 光學(xué)放大倍率:0.7-4.5X;影像放大倍率:24-158X

軟件: SBK-CNC全自動(dòng)測(cè)量軟件

輪廓光源系統(tǒng): LED冷光源,256級(jí)亮度程控可調(diào)

表面光源系統(tǒng): 六環(huán)八區(qū)LED冷光源,各區(qū)獨(dú)立操控,256級(jí)亮度程控可調(diào)

運(yùn)動(dòng)控制: SBK4000全閉環(huán)控制系統(tǒng)

電 機(jī)：日本“松下”交流同步伺服電機(jī)

操作方式: 軟件+搖桿

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